Máy phân tích hệ thống vi mô cung cấp đặc tính quang học của MEMS Dynamics có nắp Si

Trực quan hóa phản ứng động là chìa khóa để thử nghiệm và phát triển các thiết bị MEMS. Điều này là không thể thiếu để xác thực các tính toán FE và xác định hiệu ứng đàm thoại chéo. Máy phân tích hệ thống vi mô MSA-650 IRIS cải tiến và được cấp bằng sáng chế mới của Polytec cho phép đo động lực học MEMS thực bằng cách mô tả cả chuyển động trong mặt phẳng và ngoài mặt phẳng thông qua vỏ bọc silicon mà không cần tiếp xúc, không cần chuẩn bị hay mở nắp thiết bị.

Bước giới hạn MEMS trong các quy trình chế tạo có thể dẫn đến căng thẳng bổ sung, điều này có thể làm thay đổi hiệu suất của thiết bị. Do đó, một đặc tính toàn diện của thiết bị MEMS ở trạng thái cuối cùng và được đóng gói là cần thiết và không thể thiếu.

Thử nghiệm phương thức MEMS bọc silicon 

Laser-Doppler-Vibrometry (LDV) là một kỹ thuật được thiết lập tốt để nghiên cứu động lực học cơ học của MEMS với độ chính xác cao nhất. Tuy nhiên, hầu hết các máy đo độ rung laser hoạt động ở các bước sóng khả kiến ​​mà lớp vỏ bọc silicon mờ đục và cản trở quá trình kiểm tra MEMS. Do đó, thử nghiệm LDV của MEMS như vậy thông qua các bước sóng nhìn thấy được yêu cầu MEMS không được đóng gói hoặc giải mã thiết bị.

Với camera hồng ngoại chuyên dụng và nguồn SLD có độ kết hợp thấp, MSA-650 IRIS là hệ thống đo lường đầu tiên sử dụng công nghệ này để đo độ rung trong mặt phẳng trên MEMS silicon được đóng gói với độ phân giải xuống tới 30 nm và ngoài mặt phẳng theo thời gian thực rung lên đến 25 MHz với độ phân giải picometer trở xuống. Công nghệ giao thoa kế hoàn toàn mới của Polytec hiện mang lại chất lượng dữ liệu cao nhất nhờ khả năng phân tách vượt trội của các lớp thiết bị riêng lẻ trong các thiết bị MEMS có nắp.

Máy đo độ rung Doppler laser hiệu suất cao mang lại phép đo phản ứng nhanh, thời gian thực với độ phân giải dịch chuyển dưới chiều. Kính hiển vi video hoạt nghiệm tích hợp cho phép mô tả đặc tính đơn giản và hoạt hình trực tiếp của chuyển động trong mặt phẳng. Và tùy chọn giao thoa kế ánh sáng trắng cung cấp hàng triệu dữ liệu bề mặt 3D trong vài giây.

Để biết thêm thông tin: www.polytec.com