ZYGO ra mắt giải pháp rung giao thoa kế FT-QPSI

Nhà cải tiến đo lường quang học hàng đầu Tập đoàn Zygo đã phát triển một loạt giải pháp chống rung trong nhiều năm, giải pháp gần đây nhất là FT-QPSI cung cấp chế độ đo với hiệu suất rung mạnh mẽ có thể được sử dụng trên Zygo Verifire MST ở bất cứ đâu FT- PSI có thể được sử dụng.

Môi trường là một yếu tố rất quan trọng trong đo lường. Khi đo theo thứ tự nanomet, ngay cả những lượng chuyển động dường như nhỏ trong đường đo cũng có thể là đáng kể. Quá trình thu thập dữ liệu diễn ra theo thời gian, do đó mọi thay đổi về môi trường trong quá trình đo đều hiển thị trong dữ liệu. Sự hiện diện của rung động trong quá trình đo giao thoa kế laser có thể gây ra hiện tượng in xuyên qua rìa, bỏ đi và trong một số trường hợp, hoàn toàn không thể thu thập dữ liệu.

Erin McDonnell, Phó giám đốc sản phẩm (Thử nghiệm quang học), tại ZYGO giải thích, “FT-QPSI được xây dựng dựa trên giải pháp chống rung QPSI mà ZYGO đã giới thiệu vào năm 2014. Cả hai giải pháp đều đồng ý với thực tế rằng phép đo giao thoa laser đang chuyển đổi khỏi sự kiểm soát cẩn thận môi trường phòng thí nghiệm khi số lượng ứng dụng ngày càng tăng đòi hỏi các giải pháp dễ dàng, đáng tin cậy trong những môi trường mà trước đây không thể đạt được đo lường chất lượng.”

Thu thập QPSI là một phương pháp tiếp cận dựa trên mô hình nhằm giải quyết các rung động của thân máy cứng và tăng khả năng chịu rung mà không ảnh hưởng đến độ phân giải bên. QPSI là một bước đột phá trong thử nghiệm quang học chính xác, loại bỏ nhiễu và in gợn sóng trong dữ liệu pha do các rung động nhỏ và cung cấp dữ liệu đáng tin cậy mà nếu không sẽ bị ‘nhiễu’ khi thu nhận PSI truyền thống.

Các phép đo QPSI không yêu cầu thiết lập hoặc hiệu chuẩn đặc biệt và thời gian chu kỳ thường tương đương với các phép đo PSI tiêu chuẩn. QPSI ngày nay được đưa vào làm tiêu chuẩn trên phạm vi giao thoa kế của ZYGO, cho phép đo lường độ chính xác cao đáng tin cậy khi có rung động từ thiết bị sản xuất.

McDonnell tiếp tục, “Việc thu nhận QPSI chỉ hỗ trợ hai hốc bề mặt, nghĩa là một kiểu giao thoa duy nhất. Để giải quyết vấn đề này, ZYGO đã phát triển phương pháp thu nhận FT-QPSI, một chế độ đo với hiệu suất rung mạnh bao gồm các phép đo đồng thời mặt trước và mặt sau, phép đo biến thiên độ dày quang học và phép đo độ đồng nhất. FT-QPSI sử dụng kỹ thuật dựa trên mô hình giống như QPSI với mô hình vật lý mở rộng để tính toán các bề mặt bổ sung và hoạt động với giao thoa kế Kiểm tra Đa bề mặt (MST) của công ty.”

Các ứng dụng Kiểm tra Đa bề mặt (MST) đặc biệt dễ bị rung, vì vậy chế độ đo FT-QPSI là một bước phát triển quan trọng. Các bộ phận thủy tinh mỏng (dày < 1mm) là một ứng dụng ngày càng có nhu cầu đối với giao thoa kế MST làm cho chế độ đo FT-QPSI trở nên vô giá vì các mẫu này biến dạng dễ dàng hơn so với các mẫu dày hơn, vì vậy dữ liệu có nhiều khả năng bị ảnh hưởng bởi rung động hơn. Các phép đo tính đồng nhất cũng là khả năng cốt lõi của giao thoa kế MST, nhưng dữ liệu đồng nhất có xu hướng có PV (thung lũng cực đại) thấp, do đó, ngay cả một lượng nhỏ bản in từ rung động cũng có thể nhìn thấy trong dữ liệu và ảnh hưởng lớn đến chất lượng phép đo. Một lần nữa, nhu cầu về khả năng đo FT-QPSI trong các tình huống như vậy là hiển nhiên.

Tiêu chuẩn mua lại FT-QPSI đi kèm với tất cả các mẫu Verifire MST mới của ZYGO. Nó cũng có sẵn với bản nâng cấp lên phiên bản phần mềm mới nhất trên tất cả các thiết bị Verifire MST chạy phần mềm Mx

Để biết thêm thông tin: www.zygo.com